■重量対応 最大荷重１５ｋｇまで対応可能 ■対応ウェハ ４インチ～８インチまで対応可能 ■連動対応 インライン移載機、ソフトローダ、拡散炉コントローラと連動して運用可能
お電話でのお問い合わせはこちら
製品の価格・納期のお問い合わせ
受付時間 9:30～17:00 ※土日祝を除く
製品における保守のご案内
