大倉電気は急速な技術革新が進む中、培ってきた技術をベースに高品質で信頼性のある製品を提供し、豊かな社会の実現に向け貢献していきます。

特長

■高速昇降温が可能（ＦＴＰ対応）
縦型抵抗加熱方式を採用した独特なヒータにより、高速昇温・高速高温を可能にし、高速昇降温処理・通常処理を１台でこなします。

■弊社独自のウェーハ移載システム
弊社独自のウェーハ移載システムを用いることにより、信頼性の高い駆動部となっています。

■ピッチ変換機構搭載
ボート側溝ピッチを任意のピッチに変換してウェーハ移載が可能です。（設定範囲4.76～9.52mm）ウェーハの搬送はカセットToカセットで行われます。

■生産性、操作性を重視した装置
操作部にタッチパネル付きＴＦＴパネルを採用し、生産性、操作性の良い装置となっております。

■ウェーハの低温入炉が可能
ウェーハの低温入炉が可能です。大気の巻き込みの影響を著しく低減します。

■安全かつ容易な反応管の脱着
自動昇降機を利用し、より安全かつ容易に反応管の脱着が行えます。

■独自の温度調節システム
ヒータ及び温度調節システムに独自の方式を採用しているため、温度リカバリー特性が飛躍的に向上しています。

■メンテナンス性
複数台配置した際にも、メンテナンス性、操作性が損なわれないよう配慮された設計になっております。