大倉電気は急速な技術革新が進む中、培ってきた技術をベースに高品質で信頼性のある製品を提供し、豊かな社会の実現に向け貢献していきます。

特長

■均熱特性の向上
使用温度に合わせたヒータと自社製高性能コントローラとの組合せにより"安定した温度制御と均熱長を可能にしています。

■100～200mmウェーハに対応
拡散炉システムはφ100mmからφ200mmまで、御客様のご要望に応える拡散炉です。

■容易なメンテナンス性
熱電対やヒータ交換は、他のヒータが昇温中でも安全に交換できる構造です。

■コストパフォーマンス
使用部品の選定、無駄のない構造による低価格を実現しています。

■リニューアルに対応
外形寸法を最小限に抑え、古く限られたスペースのシステムのリニューアルにも対応致します。