■性价比
通过导入时按顾客需求定制或缩短启动时间,实现产品的低价提供
■配件性能
装置外形支持现有的无尘室
主机尺寸:H2600×W900×D1280
■维护性能
主要组件及软件均为自主研发,因此在将来也可一直为顾客提供维护服务
■定制性能
可根据顾客需求进行各种定制
■产品性能
可替换卧式炉,节省空间
■能源性能
通过高效加热器的研发,与本公司以往产品相比可节能10%
还可通过选购项实现高速升降温及高温工艺
●基本规格 | |
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结构: | 立式下方开放型 |
处理晶圆直径: | 4、5、6、8英寸 |
处 理 片 数: | 半成品晶圆 150片(6英寸以下) 100片(8英寸) |
盒子收纳: | 包括在制品、虚设品在内最多8盒(6英寸以下) 包括在制品、虚设品在内最多6盒(8英寸以下) |
工 艺: | WET、DR、ANNEAL etc |
使 用 气 体: | N2、O2、H2 etc |
晶 圆 处 理: | 3片固定(标准)、5片一次性/1片(选购项) |
升降温速率: | 升温 10℃/min max 降温 3℃/min max |